首先解釋一下精度的概念。用戶關(guān)注的精度，實(shí)際上包含了精密度和準(zhǔn)確度兩項(xiàng)不同的內(nèi)容。用戶所需求的精度儀器一方面要有好的測量精密度，即多次測量的離散型要小，另一方面要有好的準(zhǔn)確性，即與真實(shí)含量的偏差要小。

 

    精密度即檢測結(jié)果的離散性，通常以多次檢測的標(biāo)準(zhǔn)偏差S來計(jì)算，客戶如果更關(guān)心多次測量的極差，可以用正負(fù)二倍標(biāo)準(zhǔn)偏差來換算，D=±2S，意思是任意兩次檢測結(jié)果的差有95%的可能性小于D。對于XRF類分析儀器，精密度的保證，是與所分析譜線的強(qiáng)度（計(jì)數(shù)率）密切相關(guān)的，對于同一個(gè)樣品，通常譜線強(qiáng)度越，精密度就越好。例如SDD探測器性能優(yōu)于Si-PIN的一個(gè)重要指標(biāo)就是它允許更的計(jì)數(shù)通過率，并且保持分辨率不變。

    簡單的計(jì)算譜線強(qiáng)度的方法是感興趣區(qū)加和（感興趣區(qū)邊界線性背景扣除），該算法的重復(fù)性誤差較小，可能更容易得到較好的檢測精密度，但這種算法對于重疊譜處理能力很差，在有譜重疊的情況下，難以得到譜線的真實(shí)強(qiáng)度。當(dāng)采用“標(biāo)準(zhǔn)”定量算法時(shí)這會帶來很大的準(zhǔn)確度方面的問題，但對于后面將要提到的折線法卻是有利的，因?yàn)檫@種算法的特殊性（非標(biāo)準(zhǔn)算法）可以使經(jīng)由不準(zhǔn)確的譜線強(qiáng)度得到的含量結(jié)果也“看起來很美”。通常，在科學(xué)、嚴(yán)謹(jǐn)?shù)腦RF分析軟件中為了得到較好的定量準(zhǔn)確度，會用到解譜算法，在有重疊譜的時(shí)候，能夠?qū)⒆V線強(qiáng)度計(jì)算的盡量準(zhǔn)確。這也是為什么我們采用解譜算法而不是前述簡單強(qiáng)度算法的原因。

    基于XRF的特點(diǎn)，即元素特征X射線的強(qiáng)度與元素含量之間不是簡單的一元函數(shù)關(guān)系，它不僅與該元素的含量有關(guān)系，還與共存元素的含量有關(guān)系，即通常所說的基體吸收和增強(qiáng)效應(yīng)。在該情況下為了得到好的定量準(zhǔn)確度，從事XRF研究的學(xué)者們做了大量的工作提出了各種定量算法，簡單地可以分為經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法和基本參數(shù)法兩大類 （理論影響系數(shù)法也是一種經(jīng)常被提到的方法，它是一種介于經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法和基本參數(shù)法之間的一類算法）。